本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用"/>广东省城市足球超级联赛
要来了！
3月2日，2026年广东体育城市联赛组委会成立大会暨第一次全体会议在广州举行，标志着2026年广东省城市篮球联赛、广东省城市足球超级联赛正式进入全面实施阶段。目前，梅州市队球员选拔工作正在紧张进行。
图片为Ai生成。
“粤BA”3月升级亮相
作为广东重点打造的年度群众体育IP，2026年广东省城市篮球联赛（“粤BA”）即将热血启幕，揭幕战计划于3月举行。
自2015年创立至今，广东省男子篮球联赛已点燃全省民间篮球热潮，在此基础上全新升级的广东省城市篮球联赛，将更深度聚焦群众参与、本土情怀与青少年培育。
这场升级不仅是对赛事规模的拓展，更是对篮球文化的深耕。全新亮相的粤BA，将力争打造一场集观赏性、参与性、竞技性与经济活力于一体的南粤文体新名片，激活体育消费新场景，为城市发展注入新动能，实现赛事流量变旅游留量，竞技激情燃经济新机的良性循环。
根据竞赛规程，本届粤BA分为东、西两区展开角逐。其中西区汇聚广州、珠海、佛山、中山、江门、阳江、湛江、茂名、肇庆、云浮10支代表队，东区汇聚清远、韶关、惠州、东莞、深圳、河源、梅州、潮州、揭阳、汕头、汕尾11支代表队，小组赛阶段采用主客场单循环赛制，让热爱在家门口落地，让较量在主场升温。
足球联赛“一城一主场”
而作为全省最高水平的业余足球赛事之一，2026年广东省城市足球超级联赛计划于4月至11月举办，实行一城一主场制。该赛事将成为展示各地城市体育风采、推动足球文化交流的重要平台，通过足球运动凝聚城市精神。
全省21个市将各派1支代表队参赛，球队以城市命名，一城一主场。联赛为11人制男子足球联赛，分两个阶段进行，第一阶段为常规赛，第二阶段为淘汰赛。
本届联赛不仅是竞技舞台，更将力求打造“赛事+文旅”融合平台，串联各地文化特色，拉动体育消费，展示南粤城市形象。目前，潮州、珠海等多地已启动运动员招募选拔工作，汇聚本土足球人才，力争在赛事中展现城市风采，让足球运动成为联结广东21城的精神纽带。
当体育城市联赛打响
双赛齐鸣，燃动全省
21城激情联动
将奉献一场文旅商体展融合的
城市嘉年华！
编辑：罗欢欢
审核：练海林
" alt="广东21城“为城而战”！梅州，蓄势待发！"/>央广网北京5月1日消息（记者 孙汝祥）截至2024年4月30日，科创板全部571家公司披露了2023年度主要经营业绩信息。
数据显示，科创板公司全年合计实现营业收入13977.8亿元，同比增长4.7%，其中，超6成公司实现营业收入正增长，47家公司营业收入增幅超过50%；全年实现净利润759.6亿元。以2019年为基数，科创板公司近4年营业收入和净利润的复合增长率分别达到23.3%和24.4%，其中，92家公司营业收入和净利润复合增长率均超过30%，187家公司连续4年营业收入均实现增长，75家公司连续4年净利润均为正增长。
2023年科创板公司毛利率水平保持高位，全年平均毛利率达到41.7%，超3成公司毛利率超过50%，59家公司毛利率较上年增加5个百分点以上。从现金流看，2023年科创板公司经营活动现金流净额合计1,395.5亿元，同比增长13.6%，显示出良好的变现能力和回款效率。
研发投入迭创新高。科技创新是国际战略博弈的主战场，科创板公司积极发挥科技创新活动主体作用，坚持创新驱动发展，研发强度保持高位，创新要素加速汇聚。2023年，科创板公司研发投入金额合计达到1,561.2亿元，同比增长14.3%，研发投入占营业收入比例中位数为12.2%，83家公司研发强度连续三年超20%。截至2023年末，科创板已汇聚超过23万人的科研人才队伍，研发人员占员工总数的比例超过3成。
创新成果不断涌现。得益于持续稳定的高研发投入，2023年科创板公司在科技创新方面取得了一系列新进展、新突破。截至2023年末，累计124家次公司牵头或者参与的项目获得国家科学技术奖等重大奖项，6成公司核心技术达到国际或者国内先进水平；累计形成发明专利超10万项，其中中芯国际、信科移动的专利均超过万项。龙芯中科推出新一代通用处理器龙芯3A6000，标志国产CPU在自碳化硅衬底全球第二，加速出海至国际一线器件企业。（央广资本眼）
" />探索
41.7%！2023科创板公司毛利率保持高位
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来源：品牌之家 了解更多 子固家品牌信息>>>" />焦点
无惧315品质大考 子固家以诚信匠心守护家居消费初心
假日期间，来自市文化和旅游局、琅琊区古道社区、南谯区徐岗社区等单位的志愿者身穿红马甲、肩披红绶带、佩戴“人人都是迎客松”徽章，配合景区文明旅游志愿者，向市民游客耐心解答咨询提问、主动提供应急帮扶，协助工作人员维持秩序，疏导客流。与此同时，在旅游不文明行为易发频发区域，他们通过不间断巡查，及时劝导和制止各类旅游不文明行为，引导大家自觉遵守和维护公共秩序。
此外，志愿者还围绕主题，在景区入口向市民游客发放《中国公民文明旅游公约》《文明旅游十大提醒语》等宣传资料，进一步增强大家的文明旅游意识，倡导文明旅游是最美的风景，持续擦亮国家5A级旅游景区文明底色。（郝俊媛 张 倩 赵忠莉）
" />热点
琅琊山风景区志愿者助力文明旅游
评测人称《红色沙漠》是一款野心勃勃的开放世界冒险游戏，试图将《巫师3》《荒野大镖客2》《塞尔达传说：王国之泪》《上古卷轴5》等一众开放世界大作中的经典要素融合在一起。而正是这种野心，让它既酷炫无比，又令人抓狂不已，两者几乎不相上下。探索这个美轮美奂的世界，发现各种奇特的小游戏，一路斩杀强盗，这些都给人留下难忘回忆。
但这些美好记忆却被游戏乏味的战斗、反直觉的谜题、糟糕的剧情以及数不清的bug所毁。本作设计风格独特，包罗万象，其中不乏亮点，我欣赏它能将大量独特的机制和有趣的区域巧妙地融合在一起。但想要突破覆盖其上的厚厚污垢层，需要付出大量的努力，而隐藏在污垢之下的、尚可玩味的动作冒险游戏，也并非总是值得你付出这些努力。希望后续更新能将其完善。
" />娱乐
《红色沙漠》IGN最终评分仍为6分 反转未能实现
DenuvOwO攻破了最新版本的《赤色沙漠》（1.00.03）、《生化危机：安魂曲》（22277314）和《怪物猎人：荒野》（22195748）。现在这些游戏都拥有了最新版本的虚拟机管理程序，并符合CS.RIN社区对虚拟机所采用的安全标准。
目前尚不清楚该组织的后续计划，但截至目前，他们几乎已经更新了所有游戏的虚拟机攻破程序（仅剩《原子之心》《阿凡达：潘多拉边境》和《侏罗纪世界：进化3》尚未更新），因此DenuvOwO很可能很快就要开始新一轮的攻破行动了。
" />焦点
DenuvOwO攻破《红色沙漠》、《生化危机9》等游戏最新D加密
